Entwicklung und Aufbau einer neuartigen MOCVD-Anlage zum Wachstum ferroelektrischer Dünnschichten / Patrick Ralf Schäfer. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Festkörperforschung]

By: Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Forschungszentrum Jülich. Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3956Publisher: Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 2002Description: 133 Seiten : Illustrationen, Diagramme ; 30 cmReport number: Jül-3956Subject(s): Genre/Form: Action note:
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Dissertation note: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2002 Call number: Grundsignatur: CN JUEL-3956PPN: PPN: 1605020184
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