Analysis of silicon nitride layers deposited from SiH 4 and N 2 on silicon / O. Meyer and W. Scherber
Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Kernforschungszentrum Karlsruhe. Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 1491Verlag: Karlsruhe : Ges. f. Kernforschung, 1971Beschreibung: S. 1910 - 1915 : graph. DarstReportnummer: KfK 1491Genre/Form: Call number: Grundsignatur: CN KFK-1491PPN: PPN: 1605107271| Medientyp | Heimatbibliothek | Standort | Signatur | Exemplarnummer | Status | Fälligkeitsdatum | Barcode | Vormerkungen | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Nord | Geschlossenes Magazin | CN KFK-1491 | Verfügbar | 53601824090 | ||||
| Freihandbestand Präsenznutzung | Bibliothek Campus Nord | Geschlossenes Magazin | CN KFK-1491 | ;b | Nicht ausleihbar | 53601835090 |
Anzahl Vormerkungen: 0