Auswirkungen des Abbremsvorganges von Ionen in dünnen Schichten untersucht mittels KARMA am Beispiel der Hochdosisionenimplantation, der Dosisabhängigkeit der Zerstäubungsausbeute und der Verbreiterung von Grenzschichten : (KARMA: Kombinierte Auger-Röntgen-Mikroanalyse) / von H.-W. Etzkorn. [KFA, Kernforschungsanlage Jülich GmbH, Inst. für Grenzflächenforschung u. Vakuumphysik]

By: Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Kernforschungsanlage Jülich. Berichte der Kernforschungsanlage Jülich ; 1698Publisher: Jülich : Zentralbibliothek d. Kernforschungsanlage, 1980Description: IV, III, 134 S. : Ill., graph. DarstReport number: Jül 1698Genre/Form: Action note:
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Dissertation note: Zugl.: Bonn, Univ., Diss., 1980 Call number: Grundsignatur: CN JUEL-1698PPN: PPN: 1606401904
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