Auswirkungen des Abbremsvorganges von Ionen in dünnen Schichten untersucht mittels KARMA am Beispiel der Hochdosisionenimplantation, der Dosisabhängigkeit der Zerstäubungsausbeute und der Verbreiterung von Grenzschichten : (KARMA: Kombinierte Auger-Röntgen-Mikroanalyse) / von H.-W. Etzkorn. [KFA, Kernforschungsanlage Jülich GmbH, Inst. für Grenzflächenforschung u. Vakuumphysik]
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Kernforschungsanlage Jülich. Berichte der Kernforschungsanlage Jülich ; 1698Publisher: Jülich : Zentralbibliothek d. Kernforschungsanlage, 1980Description: IV, III, 134 S. : Ill., graph. DarstReport number: Jül 1698Genre/Form: Action note:- 2
Item type | Home library | Shelving location | Call number | Status | Date due | Barcode | Item holds | |
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Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Nord | Geschlossenes Magazin | CN JUEL-1698 | Available | 53454050090 |
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