Weiterentwicklungen und Anwendungen der Tantal-Dünnschicht- und Hybridtechnologie / von Günter Krüger. Robert Bosch GmbH, Technisches Zentrum Forschung; Bundesministerium für Forschung und Technologie
Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Summary language: English Series: Deutschland Forschungsbericht / T ; 82-173Publisher: Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe, 1982Edition: Als Ms. gedrDescription: 349 S : Ill., graph. DarstReport number: BMFT-FB-T-82-173Other title:- Developments and applications of tantalum thin films and hybrid technology
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