Post-processing techniques for integrated MEMS / Sherif Sedky

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Artech House microelectromechanical systems seriesVerlag: Boston, Mass. ; London : Artech House, c2006Beschreibung: XIV, 207 S. : Ill., graph. Darst. ; 23cmISBN:

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Andere physische Formen: Erscheint auch als: Post-processing techniques for integrated MEMS. Online-Ausgabe Boston : Artech House, 2006. 1 Online-Ressource (219 Seiten)DDC-Klassifikation:

RVK: RVK: ZN 3750LOC-Klassifikation:

Call number: Grundsignatur: 2005 A 14116PPN: PPN: 1621930351

Exemplare
Medientyp	Heimatbibliothek	Sammlung	Standort	Signatur	Status	Barcode
Freihandbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	inst 3.7	Lesesaal Technik (LST)	2005 A 14116	Verfügbar	47896576090

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