Entwurfsregelanpassung der Maskengeometrie integrierter Schaltungen / Werner Schiele

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 51Publisher: Düsseldorf : VDI-Verlag, 1984Edition: Als Ms. gedrDescription: IV, 114 S : graph. DarstISBN:

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Dissertation note: Zugl.: München, Techn. Univ., Diss. Call number: Grundsignatur: 85 A 1366PPN: PPN: 1624087965

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