Elektronenstrahlbelichtung für hochintegrierte Schaltungen / von Jürgen Hersener
Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch, Englisch Reihen: Deutschland Forschungsbericht / T ; 83-076Verlag: Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe, 1983Auflage: Als Ms. gedrBeschreibung: 93 S. : Ill., graph. DarstReportnummer: BMFT-FB-T-83-076Schlagwörter: Genre/Form: Bearbeitungsvermerk:- 2
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| Medientyp | Heimatbibliothek | Standort | Signatur | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | ZE 5324-1983,76.1983 | Verfügbar | 17089053 |
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