Elektronenstrahlbelichtung für hochintegrierte Schaltungen / von Jürgen Hersener
Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German, English Series: Deutschland Forschungsbericht / T ; 83-076Publisher: Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe, 1983Edition: Als Ms. gedrDescription: 93 S. : Ill., graph. DarstReport number: BMFT-FB-T-83-076Subject(s): Genre/Form: Action note:- 2
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| Item type | Home library | Shelving location | Call number | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | ZE 5324-1983,76.1983 | Available | 17089053 |
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