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Verfahren zur Herstellung von Dünnschichttransistoren mit Halbleiterschichten aus durch Kathodenzerstäubung hergestelltem amorphen Silizium

Von: Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Verlag: 1986Beschreibung: 87 S. : graph. DarstSchlagwörter: Genre/Form: Bearbeitungsvermerk:
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Hochschulschriftenvermerk: München, Univ. d. Bundeswehr, Diss., 1986 Call number: Grundsignatur: 88 DA 1748PPN: PPN: 1638438005
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Medientyp Heimatbibliothek Standort Signatur Status Barcode
Magazinbestand ausleihbar Bibliothek Campus Süd Geschlossenes Magazin 88 DA 1748 Verfügbar 09042602346
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