Patterngeneration für Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung / von Norbert Arndt
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Publisher: 1984Description: III, 125 S. : graph. DarstSubject(s): Genre/Form: Action note:- 2
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | 85 DA 1865 | Available | 46371522090 |
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