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Developments in semiconductor microlithography / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Contributor(s):

Resource type: Ressourcentyp: ZeitschriftPeriodicalVolumes: Bände: Show volumesZeige BändePublisher: Washington, DC [u.a.] : Soc., 1976-Other title:

Nebent.:: Semiconductor microlithography
Proceedings of the Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers / Developments in semiconductor microlithography

Genre/Form:

DDC classification:

Call number: Grundsignatur: ZE 6051Publication dates: Erscheinungsverlauf: 1.1976 -Holdings: KIT-Bibliothek (ZE 6051): 1.1976 - 4.1979Get a copy of article (LEA)Aufsatzkopie bestellen (LEA)Other relationships: Weitere Beziehungen:

1=80; 2=100; 3=135; 4=174; 5=221; 6=275 von: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers. Proceedings / SPIE. Redondo Beach, Calif. [u.a.] : Soc., 1972

PPN: PPN: 12962005XZDB ID: ZDB-ID: 245942-5

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Item type	Home library	Shelving location	Call number	Status	Barcode
Magazinbestand Präsenznutzung	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	ZE 6051-2.1977	Bestellbar ins Abholregal	27228285

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