Developments in semiconductor microlithography / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: ZeitschriftPeriodicalVolumes: Bände: Show volumesZeige BändePublisher: Washington, DC [u.a.] : Soc., 1976-Other title:
  • Nebent.:: Semiconductor microlithography
  • Proceedings of the Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers / Developments in semiconductor microlithography
Genre/Form: DDC classification:
  • 620
Call number: Grundsignatur: ZE 6051Publication dates: Erscheinungsverlauf: 1.1976 -Holdings: KIT-Bibliothek (ZE 6051): 1.1976 - 4.1979Get a copy of article (LEA)Aufsatzkopie bestellen (LEA)Other relationships: Weitere Beziehungen: PPN: PPN: 12962005XZDB ID: ZDB-ID: 245942-5
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Magazinbestand Präsenznutzung Bibliothek Campus Süd Geschlossenes Magazin ZE 6051-2.1977 Bestellbar ins Abholregal 27228285
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