Entwicklung der Technologie für Spurenfeuchtefühler in Dünnschichttechnik / von Wolfgang Woest ...

Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Summary language: English Series: Deutschland Forschungsbericht / T ; 84-268Publisher: Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe, 1984Edition: Als Ms. gedrDescription: 60 S : graph. DarstReport number: BMFT-FB-T-84-268Other title:
  • Technology development for thin-film trace-humidity sensors
Subject(s): Genre/Form: Action note:
  • 2
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Call number: Grundsignatur: ZE 5324-1984,268.1984PPN: PPN: 016403231
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