Physical sputtering of elemental metals and semiconductors / Wolfgang O. Hofer. [KFA, Kernforschungsanlage Jülich, GmbH, Inst. für Grenzflächenforschung u. Vakuumphysik]

By: Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: English Series: Kernforschungsanlage Jülich. Berichte der Kernforschungsanlage Jülich ; 2028Publisher: Jülich : Zentralbibliothek d. Kernforschungsanlage, 1985Edition: Als Ms. gedrDescription: 24 S : graph. Darst ; 30 cmReport number: Jül 2028Genre/Form: Action note:
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Call number: Grundsignatur: CN JUEL-2028PPN: PPN: 016452909
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