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Physical sputtering of elemental metals and semiconductors / Wolfgang O. Hofer. [KFA, Kernforschungsanlage Jülich, GmbH, Inst. für Grenzflächenforschung u. Vakuumphysik]

Von: Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Kernforschungsanlage Jülich. Berichte der Kernforschungsanlage Jülich ; 2028Verlag: Jülich : Zentralbibliothek d. Kernforschungsanlage, 1985Auflage: Als Ms. gedrBeschreibung: 24 S : graph. Darst ; 30 cmReportnummer: Jül 2028Genre/Form: Bearbeitungsvermerk:
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Call number: Grundsignatur: CN JUEL-2028PPN: PPN: 016452909
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Medientyp Heimatbibliothek Standort Signatur Status Barcode
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