A lithographer's guide to patterning CMOS devices with directed self-assembly / by Douglas J. Guerrero

Von:

Guerrero, Douglas, J [VerfasserIn]

Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Buch (Online)Sprache: Englisch Reihen: SPIE spotlight ; vol. SL59Verlag: Bellingham : SPIE Press, [2020]Copyright-Datum: © 2020Beschreibung: 1 Online-Ressource (v, 26 Seiten) : Illustrationen, DiagrammeISBN:

9781510637016
9781510637016

DOI: DOI: 10.1117/3.2567441Online-Ressourcen:

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PPN: PPN: 1725184559Package identifier: Produktsigel: ZDB-50-SPI

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