Endbericht über die Ergebnisse der Vorprojektstudie von COSY Micro Tec GmbH, Berlin und KfK zum Bau einer kompakten Synchrotronstahlungsquelle für die Röntgentiefenlithographie im Kernforschungszentrum Karlsruhe / zusammengestellt von R. Klingelhöfer
Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Buch (Online)Sprache: Deutsch Reihen: Kernforschungszentrum Karlsruhe. Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 4505Verlag: Karlsruhe : Kernforschungszentrum Karlsruhe, 1988Auflage: Als Ms. vervielfältigtBeschreibung: 30 S. : Ill., graph. DarstReportnummer: KFK 4505Genre/Form: Andere physische Formen: Elektronische Reproduktion von: Endbericht über die Ergebnisse der Vorprojektstudie von COSY Micro Tec GmbH, Berlin und KfK zum Bau einer kompakten Synchrotronstahlungsquelle für die Röntgentiefenlithographie im Kernforschungszentrum Karlsruhe. Als Ms. vervielfältigt. Karlsruhe : Kernforschungszentrum Karlsruhe, 1988. 30 S.DOI: DOI: 10.5445/IR/270026977Online-Ressourcen: PPN: PPN: 1740367545Dieser Titel hat keine Exemplare
Online-Ausgabe. Karlsruhe : KIT-Bibliothek, 2015. 1 Online-Ressource |2015||||||||||