Endbericht über die Ergebnisse der Vorprojektstudie von COSY Micro Tec GmbH, Berlin und KfK zum Bau einer kompakten Synchrotronstahlungsquelle für die Röntgentiefenlithographie im Kernforschungszentrum Karlsruhe / zusammengestellt von R. Klingelhöfer
Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Book (Online)Language: German Series: Kernforschungszentrum Karlsruhe. Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 4505Publisher: Karlsruhe : Kernforschungszentrum Karlsruhe, 1988Edition: Als Ms. vervielfältigtDescription: 30 S. : Ill., graph. DarstReport number: KFK 4505Genre/Form: Additional physical formats: Elektronische Reproduktion von: Endbericht über die Ergebnisse der Vorprojektstudie von COSY Micro Tec GmbH, Berlin und KfK zum Bau einer kompakten Synchrotronstahlungsquelle für die Röntgentiefenlithographie im Kernforschungszentrum Karlsruhe. Als Ms. vervielfältigt. Karlsruhe : Kernforschungszentrum Karlsruhe, 1988. 30 S.DOI: DOI: 10.5445/IR/270026977Online resources: PPN: PPN: 1740367545No physical items for this record
Online-Ausgabe. Karlsruhe : KIT-Bibliothek, 2015. 1 Online-Ressource |2015||||||||||