Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulations-Nanoskopie für die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik / Robert Kowarsch

Von:

Kowarsch, Robert [VerfasserIn]

Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Buch (Online)Sprache: Deutsch Reihen: Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 8Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; Nr. 1270Verlag: Düsseldorf : VDI Verlag, [2021]Copyright-Datum: © 2021Beschreibung: 1 Online-Ressource (182 Seiten)ISBN:

9783186270085

Schlagwörter: Genre/Form:

Hochschulschrift

Andere physische Formen: 9783185270086 | Erscheint auch als: Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulations-Nanoskopie für die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik. Druck-Ausgabe Als Manuskript gedruckt. Düsseldorf : VDI Verlag, 2021. XX, 180 SeitenDDC-Klassifikation:

620.20287
620

DOI: DOI: 10.51202/9783186270085Online-Ressourcen:

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Hochschulschriftenvermerk: Dissertation - Technische Universität Clausthal, 2020 Zusammenfassung: Die vorliegende Dissertation wendet sich an Ingenieure und Wissenschaftler im Bereich der optischen Schwingungsmesstechnik und hochauflösenden Mikroskopie (Nanoskopie). Sie befasst sich mit der Modellierung und Simulation von zwei zentralen Herausforderungen der Gerätetechnik der heterodynen Laser-Interferometrie für die Schwingungsmessung an Mikrosystemen bis zu 6 GHz. Zum einen wird die Auswirkung der Gigahertz-Trägererzeugung mittels phasengekoppelter Laser in einer optoelektronischen Phasenregelschleife auf die Auflösung für Schwingungsamplituden im Subpicometer-Bereich theoretisch untersucht und im Experiment demonstriert. Zum anderen wird mittels reversibel optisch schaltbarer Absorbanz in einer photochromen Dünnschicht ein Verfahren zur örtlichen Hochauflösung jenseits der Beugungsgrenze für die Reflexionsmikroskopie untersucht. Anhand der Erkenntnisse werden Näherungsformeln sowie Hinweise für die Anwendung gegeben. Symbolverzeichnis IX Kurzfassung XIX 1 Einleitung ...PPN: PPN: 1750580896Package identifier: Produktsigel: ZDB-281-VDE | ZDB-281-VDG | GBV-18-NDS

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