Journal of vacuum science and technology : JVST ; an AVS journal. B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena / publ. by the Society through the American Institute of Physics

Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: ZeitschriftPeriodicalLanguage: English Volumes: Bände: Show volumesZeige BändePublisher: New York, NY : Inst., 1983-ISSN:
  • 2166-2746
  • 1071-1023
  • 0734-211X
Other title:
  • Abweichender Titel: Journal of vacuum science and technology / B
  • JVST
Former title: Früherer Titel: Journal of vacuum science & technology, Hauptsacht. bis 28.2010,1 | the official journal of the AVS, 2. Zusatz anfangs | Microelectronics processing and phenomena, Sachl. Benennung bis 8.1990 | Microelectronics and nanometer structures, Sachl. Benennung 9.1991 - 20.2002 | An international journal devoted to microelectronics and nanometer structures, Sachl. Benennung 21.2003 - 28.2010,1Subject(s): Genre/Form: Additional physical formats: 2327-9877 | 1520-8567 | 2166-2754 | Erscheint auch als: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena. Online-Ausgabe, 1983-1990. New York, NY : Inst., 1983. Online-Ressource | Erscheint auch als: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures. Online-Ausgabe, 1991-2010. New York : Published for the Society by the American Institute of Physics, 1991. Online-Ressource | Erscheint auch als: Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics. Online-Ausgabe, 2011-. New York, NY : AIP Publishing, 2010. Online-Ressource | Erscheint auch als: Journal of vacuum science & technology / A & B. CD-ROM-Ausgabe. New York, NY : Inst., 2011. CD-ROMsDDC classification:
  • 530
RVK: RVK: UA 1000Call number: Grundsignatur: Z 633aPublication dates: Erscheinungsverlauf: 2.Ser. 1.1983 -Holdings: KIT-Bibliothek (Z 633a), CN LS (phys): 1.1983 - 34.2016Get a copy of article (LEA)Aufsatzkopie bestellen (LEA)Continues: Vorg.: Journal of vacuum science & technology., New York, NY : Inst., 1964Other relationships: Weitere Beziehungen: PPN: PPN: 13062845XZDB ID: ZDB-ID: 797726-8
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