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Journal of vacuum science and technology : JVST ; an AVS journal. B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena / publ. by the Society through the American Institute of Physics

Mitwirkende(r):

American Vacuum Society [Herausgebendes Organ]

Resource type: Ressourcentyp: ZeitschriftPeriodikaSprache: Englisch Volumes: Bände: Show volumesZeige BändeVerlag: New York, NY : Inst., 1983-ISSN:

2166-2746
1071-1023
0734-211X

Weitere Titel:

Abweichender Titel: Journal of vacuum science and technology / B
JVST

Former title: Früherer Titel: Journal of vacuum science & technology, Hauptsacht. bis 28.2010,1 | the official journal of the AVS, 2. Zusatz anfangs | Microelectronics processing and phenomena, Sachl. Benennung bis 8.1990 | Microelectronics and nanometer structures, Sachl. Benennung 9.1991 - 20.2002 | An international journal devoted to microelectronics and nanometer structures, Sachl. Benennung 21.2003 - 28.2010,1Schlagwörter:

Genre/Form:

Zeitschrift

Andere physische Formen: 2327-9877 | 1520-8567 | 2166-2754 | Erscheint auch als: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena. Online-Ausgabe, 1983-1990. New York, NY : Inst., 1983. Online-Ressource | Erscheint auch als: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures. Online-Ausgabe, 1991-2010. New York : Published for the Society by the American Institute of Physics, 1991. Online-Ressource | Erscheint auch als: Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics. Online-Ausgabe, 2011-. New York, NY : AIP Publishing, 2010. Online-Ressource | Erscheint auch als: Journal of vacuum science & technology / A & B. CD-ROM-Ausgabe. New York, NY : Inst., 2011. CD-ROMsDDC-Klassifikation:

RVK: RVK: UA 1000Call number: Grundsignatur: Z 633aPublication dates: Erscheinungsverlauf: 2.Ser. 1.1983 -Bestand: KIT-Bibliothek (Z 633a), CN LS (phys): 1.1983 - 34.2016Get a copy of article (LEA)Aufsatzkopie bestellen (LEA)Fortsetzung von: Vorg.: Journal of vacuum science & technology., New York, NY : Inst., 1964Other relationships: Weitere Beziehungen:

In 1,2=4; in 2,2=5; in 4,1=6; in 5,3=7; in 6,2=8; in 7,2=9 von: Molecular Beam Epitaxy Workshop (ZDB). Proceedings of the ... Molecular Beam Epitaxy Workshop. New York, NY : American Inst. of Physics, 1983
In 1,4=1983; in 3,1=1984; in 4,1=29; in 5,1=30; in 6,1=31; in 6,6=32; in 7,6=33 von: International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams (ZDB). Proceedings of the ... International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams. New York, NY : American Inst. of Physics, 1983
In 2,4=14; in 4,6=16 von: Symposium on Coatings for Large Scale Metallurgical, Optical, and Electronic Applications (ZDB). Proceedings of the annual Symposium of the Greater New York Chapter of the AVS on Coatings for Large-Scale Metallurgical, Optical, and Electronic Applications. New York, NY : Inst., 1982
In 3,2=3 von: International Conference on Molecular Beam Epitaxy (ZDB). Proceedings of the ... International Conference on Molecular Beam Epitaxy. New York, NY : Inst., 1985
1,3=10; in 2,3=11; in 3,4=12; in 4,4=13; in 5,4=14; in 6,4=15; in 7,4=16; in 8,4=18 von: Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces (ZDB). Proceedings of the ... annual Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces. New York, NY : Soc., 1982
In 2,4=2 von: Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI (ZDB). Proceedings of the Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI. New York, NY : Amer. Inst. of Physics, 1984
In 3,6=3; in 4,6=4; in 5,6=5 von: Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI (ZDB). Proceedings of the Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI. New York, NY, 1985
In 3,5=1; in 5,5=2; in 7,5=3 von: Topical Meeting on the Microphysics of Surfaces, Beams and Adsorbates (ZDB). Proceedings of the ... Topical Meeting on the Microphysics of Surfaces, Beams and Adsorbates. New York, NY : Inst., 1985
6,6=6 von: Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI (ZDB). Proceedings of the Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI. New York, NY : American Inst. of Physics, 1988
1,2=1 von: Modulated semiconductor structures. Amsterdam : [Verlag nicht ermittelbar], 1983

PPN: PPN: 13062845XZDB ID: ZDB-ID: 797726-8

Exemplare ( 3 )

Exemplare
Medientyp	Heimatbibliothek	Standort	Signatur	Status	Barcode
Freihandbestand Präsenznutzung	Bibliothek Campus Nord	Lesesaal CN	Z 633a-28,3/5.2010	Nicht ausleihbar	50875956090
Freihandbestand Präsenznutzung	Bibliothek Campus Nord	Lesesaal CN	Z 633a-28,6.2010	Nicht ausleihbar	50875912090
Freihandbestand Präsenznutzung	Bibliothek Campus Nord	Lesesaal CN	Z 633a-28,1/2.2010	Nicht ausleihbar	50898884090

Anzahl Vormerkungen: 0