Laserkristallisierung von polykristallinen Siliziumschichten auf isolierendem Substrat : [Schlußbericht, Abschlußdatum: November 1984, Contract NT-2614] / von Heiner Ryssel ... Fraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie, München

Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Deutschland Forschungsbericht / T ; 86,128 : ElektronikPublisher: Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe, 1986Description: 97 S : Ill., graph. DarstReport number: BMFT-FB-T-86-128Other title:
  • Nebent.: Laser crystallization of polycrystalline silicon layers on insulating substrates
  • Laser crystallization of polycrystalline silicon layers on insulating substrates
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