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Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen : Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik / Gerhard Franz

By: Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Publisher: Berlin ; Heidelberg [u.a.] : Springer, 1994Edition: 2., völlig neubearb. AuflDescription: X, 434 S. : graph. Darst. ; 25 cmISBN:
  • 3540573607
  • 0387573607
Subject(s): RVK: RVK: ZM 7600 | ZN 4140 | UR 8000 | ZM 7680 | ZN 4136Call number: Grundsignatur: 91 A 1385(2)Continues: 1. Aufl. u.d.T.: Franz, Gerhard: Kalte PlasmenContinues: 3. Aufl. u.d.T.: Franz, Gerhard: Niederdruckplasmen und MikrostrukturtechnikPPN: PPN: 132785153
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