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Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens / Andrea Löffler-Peters
Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 10 ; 231Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1992Edition: Als Ms. gedrDescription: 183 S. : Ill, graph. Darst. ; 21 cmISBN:- 3181431109
- Strukturierte Laser-CVD
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| Item type | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | nach 8.23 | Geschlossenes Magazin | 93 A 132 | Available | 45642992090 |
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