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Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens / Andrea Löffler-Peters

By: Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 10 ; 231Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1992Edition: Als Ms. gedrDescription: 183 S. : Ill, graph. Darst. ; 21 cmISBN:
  • 3181431109
Other title:
  • Strukturierte Laser-CVD
Subject(s): Genre/Form: RVK: RVK: ZN 4150Action note:
  • 3
Dissertation note: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1992 Call number: Grundsignatur: 93 A 132PPN: PPN: 133180905
Holdings
Item type Home library Collection Shelving location Call number Status Barcode
Magazinbestand ausleihbar Bibliothek Campus Süd nach 8.23 Geschlossenes Magazin 93 A 132 Available 45642992090
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