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Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis / von Marlene Kopf

By: Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Book (Online)Language: German Series: Institut für Mikrostrukturtechnik. Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; Band 45Publisher: Karlsruhe : KIT Scientific Publishing, 2022Description: 1 Online-Ressource (x, 190 Seiten) : IllustrationenISBN:
  • 9783731511212
Subject(s): Genre/Form: Additional physical formats: Erscheint auch als: Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis. Druck-Ausgabe Karlsruhe : KIT Scientific Publishing, 2022. x, 190 SeitenDDC classification:
  • 681.2
  • 670
Local classification: Lokale Notation: masch 11DOI: DOI: 10.5445/KSP/1000136062Online resources: Action note:
  • Archivierung/Langzeitarchivierung gewährleistet DISS
Dissertation note: Dissertation - Karlsruher Institut für Technologie (KIT)), 2021 PPN: PPN: 1797858173Package identifier: Produktsigel: GBV-ODiss
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