Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis / von Marlene Kopf
Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Buch (Online)Sprache: Deutsch Reihen: Institut für Mikrostrukturtechnik. Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; Band 45Verlag: Karlsruhe : KIT Scientific Publishing, 2022Beschreibung: 1 Online-Ressource (x, 190 Seiten) : IllustrationenISBN:- 9783731511212
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