Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis / von Marlene Kopf

Von:

Kopf, Marlene [VerfasserIn]

Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Buch (Online)Sprache: Deutsch Reihen: Institut für Mikrostrukturtechnik. Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; Band 45Verlag: Karlsruhe : KIT Scientific Publishing, 2022Beschreibung: 1 Online-Ressource (x, 190 Seiten) : IllustrationenISBN:

9783731511212

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Genre/Form:

Hochschulschrift

Andere physische Formen: Erscheint auch als: Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis. Druck-Ausgabe Karlsruhe : KIT Scientific Publishing, 2022. x, 190 SeitenDDC-Klassifikation:

681.2
670

Local classification: Lokale Notation: masch 11DOI: DOI: 10.5445/KSP/1000136062Online-Ressourcen:

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Hochschulschriftenvermerk: Dissertation - Karlsruher Institut für Technologie (KIT)), 2021 PPN: PPN: 1797858173Package identifier: Produktsigel: GBV-ODiss

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