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Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal. B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena / publ. by the Society through the American Institute of Physics

Mitwirkende(r):

American Vacuum Society [Herausgebendes Organ]

Resource type: Ressourcentyp: Zeitschrift (Online)Periodika (Online)Sprache: Englisch Volumes: Bände: Show volumesZeige BändeVerlag: New York, NY : AIP Publishing, 2010-Beschreibung: Online-RessourceISSN:

2166-2754

Weitere Titel:

Abweichender Titel: Nanotechnology and microelectronics
Abweichender Titel: JVST B
Journal of vacuum science and technology

Schlagwörter:

Vakuumtechnik

Genre/Form:

Zeitschrift

Andere physische Formen: 2166-2746 | Erscheint auch als: Journal of vacuum science and technology / B. Druck-Ausgabe. New York, NY : Inst., 1983DDC-Klassifikation:

Online-Ressourcen:

Publication dates: Erscheinungsverlauf: 2nd ser., Volume 28, Issue 1, (January 2010)-Bestand: KIT-Bibliothek: 28.2010,1 - 38.2020; KIT-Bibliothek, Nationalkonsortium: 28.2010,1 -Vorgänger: Fortsetzung von: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures., New York : Published for the Society by the American Institute of Physics, 1991.PPN: PPN: 1800461763ZDB ID: ZDB-ID: 3117331-7Package identifier: Produktsigel: ZDB-1-AIPO

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