Laser induced lateral epitaxy on silicon-on-insulator / Shou-Gwo Wuu

Von:

Wuu, Shou-Gwo [aut]

Mitwirkende(r):

Müller, Jörg [Doktorvater]
Bauhofer, Wofgang [Gutachter]
Technische Universität Hamburg-Harburg. Arbeitsbereich Halbleitertechnologie [oth]

Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 143Verlag: Düsseldorf : VDI-Verl., 1992Auflage: Als Ms. gedrBeschreibung: VIII, 144 Seiten : Ill., graph. Darst ; 21 cmISBN:

3181443093

Weitere Titel:

silicon-on-insulator
Laser induced lateral epitaxy on SOI

Schlagwörter:

SOI-Technik
Epitaxie
Laser
Flüssigphasenepitaxie
EBIC-Verfahren

Genre/Form:

Hochschulschrift

Bearbeitungsvermerk:

Hochschulschriftenvermerk: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1992 Call number: Grundsignatur: 92 A 3565PPN: PPN: 152779450

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Titelinformationen ( 1 )

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Medientyp	Heimatbibliothek	Standort	Signatur	Status	Barcode
Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	92 A 3565	Verfügbar	45227148090

Anzahl Vormerkungen: 0

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