Plasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa2Cu3O7 / Thomas Bade

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 2 ; 315Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1994Edition: Als Ms. gedrDescription: X, 94 S : Ill., graph. Darst ; 21 cmISBN:

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Dissertation note: Zugl.: Hamburg, Univ., FB Physik, Diss. : 1993 Call number: Grundsignatur: 94 B 222PPN: PPN: 153887419

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Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	94 B 222	Available	49437146090

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