Schreibende Elektronenstrahllithographie mit Quasi-Shaped-Beam, Realisierung eines Verfahrens zur Steigerung der Schreibgeschwindigkeit / Dirk Jan Beets

By: Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Publisher: 1985Description: IV, 136 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cmGenre/Form: Action note:
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Dissertation note: Aachen, Techn. Hochsch., Diss. : 1985 Call number: Grundsignatur: 86 DA 4065PPN: PPN: 157634051
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