Schreibende Elektronenstrahllithographie mit Quasi-Shaped-Beam, Realisierung eines Verfahrens zur Steigerung der Schreibgeschwindigkeit / Dirk Jan Beets
Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Verlag: 1985Beschreibung: IV, 136 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cmGenre/Form: Bearbeitungsvermerk:- 2
| Medientyp | Heimatbibliothek | Standort | Signatur | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | 86 DA 4065 | Verfügbar | 09042098544 |
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