Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme

By:

Podbielski, Rainer [aut]

Contributor(s):

Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 62Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1986Edition: Als Ms. gedrDescription: 175 S : Ill. , graph. DarstISBN:

3181462098

Other title:

Polysilizium

Subject(s):

Genre/Form:

Contents:

Action note:

Dissertation note: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1986 Call number: Grundsignatur: 86 A 2919PPN: PPN: 16171403X

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Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	86 A 2919	Available	21069131

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