Charakterisierung von vorwiegend durch Ionenimplantation hergestellten, dünnen Siliziumoxid-, Siliziumnitrid- und Siliziumoxynitrid-Schichten auf Silizium mit Augerelektronenspektroskopie und Elektronenenergieverlustspektroskopie / Wolfgang G. Streb
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Publisher: 1985Description: 119 S. : graph. Darst. ; 21 cmSubject(s): Genre/Form: Action note:- 3
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | 86 DA 1647 | Available | 31065948 |
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