Laser microfabrication : thin film processes and lithography / Daniel J. Ehrlich; Jeffrey Y. Tsao

Mitwirkende(r):

Ehrlich, Daniel J, 1951- [Hrsg.]
Tsao, Jeffrey Y [oth]

Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Verlag: Boston [u.a.] : Academic Press, 1989Beschreibung: XII, 587 S : graph. Darst ; 24 cmISBN:

0122334302

Schlagwörter:

Laser
Anwendung
Wirtschaft
Fotolithografie Halbleitertechnologie
Lasers
Thin film devices
Microlithography
Microfabrication

DDC-Klassifikation:

621.36/6 19
621.366

RVK: RVK: UH 5790 | UH 5750LOC-Klassifikation:

TA1677

Call number: Grundsignatur: 89 A 3663PPN: PPN: 017070015

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Exemplare
Medientyp	Heimatbibliothek	Standort	Signatur	Exemplarnummer	Status	Barcode
Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Nord	Geschlossenes Magazin CN	89 A 3663	;b	Verfügbar	52001561090
Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	89 A 3663		Verfügbar	45140468090

Anzahl Vormerkungen: 0