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Laser microfabrication : thin film processes and lithography / Daniel J. Ehrlich; Jeffrey Y. Tsao

Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Verlag: Boston [u.a.] : Academic Press, 1989Beschreibung: XII, 587 S : graph. Darst ; 24 cmISBN:
  • 0122334302
Schlagwörter: DDC-Klassifikation:
  • 621.36/6 19
  • 621.366
RVK: RVK: UH 5790 | UH 5750LOC-Klassifikation:
  • TA1677
Call number: Grundsignatur: 89 A 3663PPN: PPN: 017070015
Exemplare
Medientyp Heimatbibliothek Standort Signatur Exemplarnummer Status Barcode
Magazinbestand ausleihbar Bibliothek Campus Nord Geschlossenes Magazin CN 89 A 3663 ;b Verfügbar 52001561090
Magazinbestand ausleihbar Bibliothek Campus Süd Geschlossenes Magazin 89 A 3663 Verfügbar 45140468090
Anzahl Vormerkungen: 0