DTCO and Computational Patterning IV : 25-28 February 2025, San Jose, California, United States / Neal V. Lafferty, Harsha Grunes (editors) ; sponsored by: SPIE
Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Buch (Online)Sprache: Englisch Reihen: SPIE. Proceedings of SPIE ; volume 13425Verlag: Bellingham, Washington, USA : SPIE, [2025]Beschreibung: 1 Online-Ressource : IllustrationenISBN:- 9781510686373
- SPIE Advanced Lithography
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