Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions / ed. by Stephen M. Rossnagel ...

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Materials science and process technology seriesVerlag: Park Ridge, NJ : Noyes Publ., 1990Beschreibung: XXIII, 523 S. : graph. DarstISBN:

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RVK: RVK: ZN 4150 | UP 9350 | ZM 7680LOC-Klassifikation:

Call number: Grundsignatur: 91 A 322PPN: PPN: 01734512X

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Medientyp	Heimatbibliothek	Standort	Signatur	Exemplarnummer	Status	Barcode
Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Nord	Geschlossenes Magazin CN	91 A 322	;b	Verfügbar	51999065090
Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	91 A 322		Verfügbar	45681326090

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