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Laser-Reflexionsmessungen zur Optimierung technologischer Prozesse bei der Herstellung integrierter Supraleiterschaltungen / Ralf Dolata
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschritt-Berichte VDI. (Reihe 08)Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 439Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1994Edition: Als Ms. gedrDescription: VII, 192 S : graph. DarstISBN:- 3183439085
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| Item type | Home library | Shelving location | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | Item holds | |
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