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Microlithography world

Resource type: Ressourcentyp: ZeitschriftPeriodikaSprache: Nicht definiert Volumes: Bände: Show volumesZeige BändeVerlag: Tulsa, Okla. : PennWell Publ. Co., 1992-2008ISSN:
  • 1074-407X
Genre/Form: DDC-Klassifikation:
  • 660
Call number: Grundsignatur: Z 1743Publication dates: Erscheinungsverlauf: 1.1992 - 17.2008Bestand: KIT-Bibliothek (Z 1743), CN LS: 3.1994 - 17.2008Get a copy of article (LEA)Aufsatzkopie bestellen (LEA)Fortsetzung: Fortgesetzt durch: Microlithography World., Tulsa, Okla. : PennWell Publ. Co., 1992.PPN: PPN: 18239624XZDB ID: ZDB-ID: 1204146-4
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