Optical diagnostics for thin film processing / Irving P. Herman

Von:

Herman, Irving P, 1951- [aut]

Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Verlag: San Diego, Calif. [u.a.] : Academic Press, 1996Beschreibung: XXIX, 783 S : graph. DarstISBN:

0123420709

Schlagwörter:

Dünne Schicht
Spektralanalyse
Thin films
Spectrum analysis
Quality control

Andere physische Formen: Online-Ausg.: Optical diagnostics for thin film processing. San Diego, CA : Academic Press, 1996. Online Ressource (xxix, 783 p.)DDC-Klassifikation:

621.381520287
621.3815/2/0287

RVK: RVK: UP 7800LOC-Klassifikation:

QC176.84.S93

Call number: Grundsignatur: 2012 A 3563PPN: PPN: 18549675X

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Exemplare
Medientyp	Heimatbibliothek	Sammlung	Standort	Signatur	Status	Fälligkeitsdatum	Barcode	Vormerkungen
Freihandbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Nord	phys 8.7	Lesesaal CN	2012 A 3563	Verfügbar		51012432090

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