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Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen / Klaus-Dieter Sauter

Von: Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung. IPA-IAO-Forschung und Praxis ; 149Verlag: Berlin ; Heidelberg [u.a.] : Springer, 1990Beschreibung: 115 S. : graph. DarstISBN:
  • 0387532366
  • 3540532366
Schlagwörter: Genre/Form: DDC-Klassifikation:
  • 621.381'52
  • 621.381/52
LOC-Klassifikation:
  • TK7836
Hochschulschriftenvermerk: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1990 Call number: Grundsignatur: 91 DA 1058PPN: PPN: 019424132
Exemplare
Medientyp Heimatbibliothek Standort Signatur Status Barcode
Magazinbestand ausleihbar Bibliothek Campus Süd Geschlossenes Magazin 91 DA 1058 Verfügbar 33208332
Anzahl Vormerkungen: 0