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Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen / Klaus-Dieter Sauter
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung. IPA-IAO-Forschung und Praxis ; 149Publisher: Berlin ; Heidelberg [u.a.] : Springer, 1990Description: 115 S. : graph. DarstISBN:- 0387532366
- 3540532366
- 621.381'52
- 621.381/52
- TK7836
| Item type | Home library | Shelving location | Call number | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | 91 DA 1058 | Available | 33208332 |
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