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Semiconductor lithography : principles, practices, and materials / Wayne M. Moreau
Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: MicrodevicesVerlag: New York, NY [u.a.] : Plenum Pr., 1988Beschreibung: XX, 931 S. : Ill., graph. DarstISBN:- 0306421852
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| Medientyp | Heimatbibliothek | Standort | Signatur | Status | Fälligkeitsdatum | Barcode | Vormerkungen | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | 88 E 344 | Verfügbar | 50622004090 |
Anzahl Vormerkungen: 0
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