Kalte Plasmen : Grundlagen, Erscheinungen, Anwendungen / Gerhard Franz

Von:

Franz, Gerhard [aut]

Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Verlag: Berlin ; Heidelberg [u.a.] : Springer, 1990Beschreibung: X, 297 S. : Ill., graph. DarstISBN:

3540531602
0387531602

Schlagwörter:

Glimmentladung
Kaltes Plasma
Trockenätzen
Sputtern
Plasma engineering
Low temperature plasmas
Plasma etching
Plasma (Ionized gases)
Low temperature plasmas
Plasma engineering
Plasma etching

DDC-Klassifikation:

621.044

RVK: RVK: UR 8000LOC-Klassifikation:

QC718

Call number: Grundsignatur: 91 A 1385Fortsetzung: 2. Aufl. u.d.T.: Franz, Gerhard. Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen., Berlin : Springer, 1994.PPN: PPN: 275684407

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Medientyp	Heimatbibliothek	Sammlung	Standort	Signatur	Exemplarnummer	Status	Barcode
Freihandbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Nord	phys 7.65	Lesesaal CN	91 A 1385	;b	Verfügbar	51419955090
Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	phys 7.65	Geschlossenes Magazin	91 A 1385		Verfügbar	47996242090

Anzahl Vormerkungen: 0