Abscheidung Phosphor-dotierter SiO 2-Schichten zur Passivierung von optoelektronisch-integrierten Empfängern / Rolf Riemenschneider

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 241Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1996Edition: Als Ms. gedrDescription: VII, 185 S. : graph. DarstISBN:

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Dissertation note: Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochschule, Diss., 1995 Call number: Grundsignatur: 96 A 4726PPN: PPN: 275830764

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