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Röntgentiefenlithographische Mikrostrukturfertigung : Genauigkeit der Abbildung und Strukturierung durch Schrägbelichtung / Gregor Feiertag
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 242Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1996Edition: Als Ms. gedrDescription: VI, 107 S. : graph. DarstISBN:- 3183242095
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| Item type | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | nach 8.23 | Geschlossenes Magazin | 97 A 204 | Available | 44508192090 |
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