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Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem kommerziellen 2 My m CMOS-Prozeß / Werner Riethmüller
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 203Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1995Edition: Als Ms. gedrDescription: IX, 111 S. : Ill., graph. DarstISBN:- 318320309X
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| Item type | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | nach 8.23 | Geschlossenes Magazin | 95 A 1263 | Available | 44358363090 |
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