Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Smart-Power-Prozesses zur Herstellung intelligenter Leistungshalbleiter auf SIMOX-Substraten / Franz Vogt
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 224Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1996Edition: Als Ms. gedrDescription: X, 192 S. : graph. DarstISBN:- 3183224097
- CMOS-kompatibler Smart-Power-Prozeß
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Literaturverz.: S. 179 - 192
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