Untersuchung der lokalen und globalen Herstellgenauigkeit integrierter Halbleiterbauelemente / Eckhard Braß
Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 255Verlag: Düsseldorf : VDI-Verl., 1997Auflage: Als Ms. gedrBeschreibung: VIII, 127 S. : Ill., graph. DarstISBN:- 318325509X
- Genauigkeit von Bauelementen
- 2
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