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Untersuchung der lokalen und globalen Herstellgenauigkeit integrierter Halbleiterbauelemente / Eckhard Braß
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 255Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1997Edition: Als Ms. gedrDescription: VIII, 127 S. : Ill., graph. DarstISBN:- 318325509X
- Genauigkeit von Bauelementen
- 2
| Item type | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | nach 8.24 | Geschlossenes Magazin | 97 A 664 | Available | 47926506090 |
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