CMOS-kompatibler kapazitiver Siliziumdrucksensor in Oberflächenmikromechanik / Michael Kandler
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 175Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1993Edition: Als Ms. gedrDescription: XIII, 133 S. : graph. DarstISBN:- 3181475092
- 2
Item type | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Status | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | inst 2.7 | Geschlossenes Magazin | 94 A 421 | Available | 44385242090 |
Total holds: 0
Archivierung prüfen 20200919 DE-640 2 pdager