CMOS-kompatibler kapazitiver Siliziumdrucksensor in Oberflächenmikromechanik / Michael Kandler

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 175Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1993Edition: Als Ms. gedrDescription: XIII, 133 S. : graph. DarstISBN:

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RVK: RVK: ZQ 3750Action note:

Dissertation note: Zugl.: Duisburg, Univ. - Gesamthochsch., Diss Call number: Grundsignatur: 94 A 421PPN: PPN: 275832104

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Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	inst 2.7	Geschlossenes Magazin	94 A 421	Available	44385242090

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