CMOS-kompatibler kapazitiver Siliziumdrucksensor in Oberflächenmikromechanik / Michael Kandler
Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 175Verlag: Düsseldorf : VDI-Verl., 1993Auflage: Als Ms. gedrBeschreibung: XIII, 133 S. : graph. DarstISBN:- 3181475092
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Medientyp | Heimatbibliothek | Sammlung | Standort | Signatur | Status | Barcode | |
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Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | inst 2.7 | Geschlossenes Magazin | 94 A 421 | Verfügbar | 44385242090 |
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