CMOS-kompatibler kapazitiver Siliziumdrucksensor in Oberflächenmikromechanik / Michael Kandler

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 175Verlag: Düsseldorf : VDI-Verl., 1993Auflage: Als Ms. gedrBeschreibung: XIII, 133 S. : graph. DarstISBN:

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RVK: RVK: ZQ 3750Bearbeitungsvermerk:

Hochschulschriftenvermerk: Zugl.: Duisburg, Univ. - Gesamthochsch., Diss Call number: Grundsignatur: 94 A 421PPN: PPN: 275832104

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Medientyp	Heimatbibliothek	Sammlung	Standort	Signatur	Status	Barcode
Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	inst 2.7	Geschlossenes Magazin	94 A 421	Verfügbar	44385242090

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