Entwicklung eines allgemeinen dreidimensionalen physikalischen Modells zur Simulation von Abscheideprofilen in Kathodenzerstäubungsanlagen / Joachim Stache
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschritt-Berichte VDI / 21 ; 197Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1996Edition: Als Ms. gedrDescription: IX, 116 S. : graph. DarstISBN:- 3183197219
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