Handbook of VLSI microlithography : principles, technology and applications / ed. by William B. Glendinning ...

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Materials science and process technology series Electronic materials and process technologyVerlag: Park Ridge, NJ : Noyes Publ., 1991Beschreibung: XXII, 649 S. : Ill., graph. DarstISBN:

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RVK: RVK: UP 3100 | ZN 4150Bearbeitungsvermerk:

Call number: Grundsignatur: 92 A 2494PPN: PPN: 276968743

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Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	92 A 2494	Verfügbar		45161196090

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