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Handbook of VLSI microlithography : principles, technology and applications / ed. by William B. Glendinning ...

Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Materials science and process technology series Electronic materials and process technologyVerlag: Park Ridge, NJ : Noyes Publ., 1991Beschreibung: XXII, 649 S. : Ill., graph. DarstISBN:
  • 0815512813
Schlagwörter: DDC-Klassifikation:
  • 621.381531
  • 621.381/531
RVK: RVK: UP 3100 | ZN 4150Bearbeitungsvermerk:
  • 3
Call number: Grundsignatur: 92 A 2494PPN: PPN: 276968743
Exemplare
Medientyp Heimatbibliothek Standort Signatur Status Fälligkeitsdatum Barcode Vormerkungen
Magazinbestand ausleihbar Bibliothek Campus Süd Geschlossenes Magazin 92 A 2494 Verfügbar 45161196090
Anzahl Vormerkungen: 0

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