Handbook of sputter deposition technology : principles, technology and applications / by Kiyotaka Wasa; Shigeru Hayakawa

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Materials science and process technology seriesVerlag: Park Ridge, NJ : Noyes Publ., 1992Beschreibung: XII, 304 S. : Ill., graph. DarstISBN:

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RVK: RVK: UP 7550 | ZN 4150 | ZM 7620Call number: Grundsignatur: 93 A 3798PPN: PPN: 277081300

Exemplare
Medientyp	Heimatbibliothek	Sammlung	Standort	Signatur	Exemplarnummer	Status	Barcode
Freihandbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Nord	phys 8.71	Lesesaal CN	93 A 3798	;c	Verfügbar	50670746090
Freihandbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Nord	phys 8.71	Lesesaal CN	93 A 3798	;b	Verfügbar	50670655090
Freihandbestand Präsenznutzung	Fachbibliothek Physik	phys 8.71	Bibliothek / frei aufgestellt	93 A 3798		Nicht ausleihbar	33163665

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