The physics of submicron lithography / Kamil A. Valiev
Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: MicrodevicesVerlag: New York, NY [u.a.] : Plenum Press, 1992Beschreibung: XI, 493 S. : Ill., graph. DarstISBN:- 0306435780
- 621.381531
- 621.381/531
- TK7874
Medientyp | Heimatbibliothek | Sammlung | Standort | Signatur | Status | Fälligkeitsdatum | Barcode | Vormerkungen | |
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