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The physics of submicron lithography / Kamil A. Valiev

Von: Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: MicrodevicesVerlag: New York, NY [u.a.] : Plenum Press, 1992Beschreibung: XI, 493 S. : Ill., graph. DarstISBN:
  • 0306435780
Schlagwörter: DDC-Klassifikation:
  • 621.381531
  • 621.381/531
RVK: RVK: ZN 4170 | UP 9300LOC-Klassifikation:
  • TK7874
Call number: Grundsignatur: 2012 E 1367PPN: PPN: 277459117
Exemplare
Medientyp Heimatbibliothek Sammlung Standort Signatur Status Fälligkeitsdatum Barcode Vormerkungen
Freihandbestand ausleihbar Bibliothek Campus Nord nach 8.23 Lesesaal CN 2012 E 1367 Verfügbar 51076712090
Anzahl Vormerkungen: 0

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