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Particle control for semiconductor manufacturing / [ed. by] R. P. Donovan
Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Verlag: New York, NY [u.a.] : Dekker, 1990Auflage: 1. printBeschreibung: XIII, 464 S. : Ill., graph. DarstISBN:- 0824782429
- 621.381'52
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- TK7871.85
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| Medientyp | Heimatbibliothek | Standort | Signatur | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | 90 E 622 | Verfügbar | 29046529 |
Anzahl Vormerkungen: 0
Archivierung prüfen 20200919 DE-640 2 pdager