Abscheidung metastabiler Ti 1-x Al x N-Schichten nach dem plasmagestützten CVD-Verfahren / Robert Prange

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 5 ; 576Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 2000Edition: Als Ms. gedrDescription: VI, 80 S : Ill., graph. DarstISBN:

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RVK: RVK: UP 7560Action note:

Dissertation note: Zugl.: Aachen, Rheinisch-Westfälische Techn. Hochsch., Diss. Call number: Grundsignatur: 2000 B 90PPN: PPN: 309732298

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Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	2000 B 90	Available	09042920149

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