Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition / ed. by André Anders

Contributor(s):

Anders, André [Hrsg.]

Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: English Series: A Wiley-Interscience publicationPublisher: New York, NY ; Weinheim [u.a.] : Wiley, 2000Description: XXIII, 736 S : Ill., graph. Darst ; 25 cmISBN:

0471246980

Subject(s):

DDC classification:

671.7 21

RVK: RVK: UP 9350 | ZM 7680LOC classification:

TS695.25

Contents:

Includes bibliographical references and indexes

Action note:

2
Archivierung/Langzeitarchivierung gewährleistet PEBW

Call number: Grundsignatur: 2012 A 3408PPN: PPN: 309812402

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Item type	Home library	Collection	Shelving location	Call number	Status	Barcode
Freihandbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Nord	phys 7.6	Lesesaal CN	2012 A 3408	Available	51008196090

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