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Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials / M. R. Oliver (ed.)
Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Springer series in materials science ; 69Verlag: Berlin ; Heidelberg [u.a.] : Springer, 2004Beschreibung: X, 425 S : illISBN:- 3540431810
- chemical-mechanical
- 621.38152
- 621.3815/2
- 620
- TK7871.85
| Medientyp | Heimatbibliothek | Sammlung | Standort | Signatur | Status | Fälligkeitsdatum | Barcode | Vormerkungen | |
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| Freihandbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | nach 8.21 | Lesesaal Technik (LST) | 2004 A 28123 | Verfügbar | 46592670090 |
Anzahl Vormerkungen: 0