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Semiconductor manufacturing handbook : [wafer processing technologies ; nanotechnology and MEMs ; fab yield, operations, and facilities] / Hwaiyu Geng, ed. in chief
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: English Series: McGraw-Hill handbooksPublisher: New York, NY [u.a.] : McGraw-Hill, 2005Description: Getr. Zählung : Ill., graph. Darst. ; 24cmISBN:- 0071445595
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- TK7871.85
- 3
| Item type | Home library | Shelving location | Call number | Status | Date due | Barcode | |
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